Книги автора Рощин В.М.

Технология материалов микро-, опто- и наноэлектроники: Часть 2
Автор:
Жанр: Разное
Год: 2010
Рейтинг:
Описание: Учебное пособие посвящено технологии получения основных компонентов микро-, опто- и наноэлектроники: металлов, легирующих элементов, диэлектрических материалов, углеродных материалов, металлоорганических соединений и вспомогательных материалов. Для студентов, обучающихся по направлению «Электроника и микроэлектроника». Полезно также специалистам, работающим в соответствующей области.